特种气体：氦气

氦气具有化学惰性，常被用做半导体工业的保护气和科学实验中的载体气。氦气可以隔绝氧气，避免电焊工件、单质硅和氧气发生化学反应。目前，保护气已成为氦气的第二大应用领域。在气相色谱中，氦气作为载体气可运送被测气体且不与其发生反应。

 氦气分子***1小，使其穿透能力***强、密度***1小，被用做管道检漏，可解决单纯依靠声波检测技术无法解决的问题，对深埋管道或拥有保温层防腐层的热力、输油、输气管道，特别是低压运行的管道，有明显的检测效果。

特种气体系统的设计与施工

特气供气系统

大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用***1***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出***严格的要求。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。

特种气体的运输及其安全技术

运输的准备工作

1．确定车辆 。

(1)按照公路运输车辆法的检查标准检查车辆的配备情况．

(2)把规定的警戒标志挂在容易看见的地方。

2．确定携带橱品

（1）文件

①汽车驾驶许可证及汽车检验证；

②高压气体输运监视人学习结业证(必要时)}

③输运计划书(或输运注意事项)， ：

④车辆运行日记及其它业务上必要的文件。

⑤剧1毒物品转让书(运输剧1毒物品时)。