特种气体系统的设计与施工

辅助系统的设计

气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。气体侦测系统（GDS）是全厂生命安全系统（LSS）的重要组成部分。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。

特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。

特种气体的分类

近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展，促使这一块所需使用气体的飞速发展。空气中的氮气在高压环境下会溶解在血液中，当潜水员上浮的时候压力减小，血中的氮气便纷纷逸出，形成气泡堵塞血管，使潜水员患上极为难受的“减压症”。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高，所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等***行业。主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅i烷类。

2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。

特种气体的介绍

特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，***气，焊接气，杀菌气等，广泛用于电子，电力，石油化工，钢铁，有色金属冶炼，热力工程，生化，环境监测，医学研究及诊断，食品保鲜等领域。

常温下，干氯不腐　蚀钢｛但在水和湿气存在时，由于生成盐酸和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无　水，管路、阀门和容器不用时应密封或加帽，从而与大气中的湿气隔离。