半导体激光气体分析系统是现场在线检测气体浓度的精密测量系统，由发射单元、接收单元和中央分析仪器构成(图2)。其频率调制扫描范围也仅包含被测气体单吸收谱线(半导体激光吸收光谱技术也因此被称为单线光谱技术)，因此成功消除了背景气体交叉干扰影响。由发射单元发出的激光束穿过被测烟道，被安装在直径相对方向上的接收单元中的探测器接收，获得的测量信号通过缆线传输到中央分析仪器，中央分析仪器对测量信号分析，得到被测气体浓度。

半导体激光气体分析系统的测量原理基于半导体激光吸收光谱气体分析测量技术，即“单线光谱”测量技术，克服了环境中其它成分(包括粉尘、水分和其它气体成分等)的影响，确保了含氧量测量的准确性。

大部分激光气体检测器都是基于可调谐的二极管激光吸收光谱学（TDLAS）。使用吸收光谱法进行1气体种类检测已发展了好几十年了。气体分子可通过它的吸收光谱特性来进行检测。如果红外线光源频率（或波长）与分子振动频率相匹配，则光就会被吸收。比尔一朗伯特原理是线性关系，我们使用它来计算分子浓度（ppm）。选择的分子吸收特性不能与其他分子吸收光谱一致。3）根据***1小二乘拟合的需要，再按步骤1）和2）得到待测气体其它历史浓度已知情况下的二次谐波信号***1大值与二次谐波信号***1小值之间的差值，将得到的所有差值与对应浓度参数进行***1小二乘拟合，拟合出差值信号与该气体浓度信号的关系函数。

高纯气体在充装前需要做哪些准备工作？

1、高纯气体充装的准备：

　　①气瓶上架。

　　②微开阀门通入0.2MPa压力

　　③检查充装软管与气瓶连接是否泄漏。

　　④关闭阀门，开启充装排放空阀，泄压至0.

　　⑤目测压力表是否为0。

　　⑥(确认充装软管与气瓶连接无泄漏时可，压力为0时，可直接抽空)。

　　2、高纯气体充装的抽空操作：

　　①开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵;

　　②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。

　　③真空表指示值<-0.1MPa

　　④抽空5~15分钟后。

　　⑤关闭抽空总阀。

　　⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。

　　⑦关闭真空泵，抽空结束。