氦气质谱检漏的用方法

氦质谱检漏-真空压力法，真空压力法首要应用于结构简略、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。该办法检测灵敏度高，能完成任何工作压力的漏率检测，反映被检件的实在走漏状况。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→用气点分类特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易1燃易1爆气体、有毒气体和腐蚀性气体。可是这种检漏体系杂乱，需求依据被检产品的容积和形状设计真空密封室，在检漏过程要求确保充气管道接口无走漏，或者采取特别的结构设计将一切充气管道衔接接口放置在真空密封室外部。

选用真空压力法检漏时，需求将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅佐抽暇体系和检漏仪相连，被检产品的充气接口经过衔接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品外表有漏孔时，氦气就会经过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品总漏率的丈量。为了降低损耗，处需要光纤制造系统精良和所有原材料纯度高外，其关键是在制造光纤工艺中通入高纯氯1气，有效除去OH-离子。

特种气体管道的施工

施工管理和现场施工的几个注意点

架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。如果业主要求比较严格，也采用彩钢板搭设一个简单的预制件，房间内铺上地板革，在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩，做一个简单的净化空间，进行管道的预制工作。但对要求不是很高的施工，为了降低成本，每天的焊接结束后，把两端用管帽和洁净胶带封死。在这里要特别提出的是对输送强腐蚀性气体的耐腐蚀性强的VM管进行对接施焊时，其充气时间必须要达到4-5分钟，而且必须不间断充气。

电子特种气体的介绍

电子特种气体和半导体、平板显示、传感器等电子元器件制造业息息相关，与湿电子化学品一样是电子元器件的上游原材料之一。特种气体的运输算出运输量气体混装的合算从容器输运的安全来说，***1好尽量避免与其它气体混装。其广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺中，与生产设备配套使用。特别是在超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。