设备要具有足够的刚度，塔设备中的塔板、受外压的容器壳体、端盖等都要满足刚度要求；无尘车间设备的主体部分和其他零件，都要由足够的强度（strength)，以保证生产(Produce)和人生安全，一般在设计时常将各零件做成等强度，这样节省(spare)材料，但有时也有意识地将某一零件的承载能力设计得低一些，当过载时这个零件首先破坏而使整个设备不受损坏。无尘车间是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。

水系统水系统流程图冰水系统分为一次侧和二次侧。一次侧冰水水温7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统。一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接。板式换热器原理干盘管:不结露的盘管,因无尘车间温度在22度,其温度12度左右,故7度冰水不能直接进入无尘车间,所以进干盘管的冰水温度在12-14度。4、控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。

洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。5、气流流型检测。6、噪声的检测。7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘车间各表明的振动幅度。9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。10、总风量和新风量的检测。

层过滤/纸袋（丢弃式）：4gall(15L)能有效的收集处理可目视粉尘。第二层过滤/加大的布质过滤器（可洗式）：可以保护并延长HEPA过滤器的寿命。第三层过滤/马达保护套：深层过滤，可以保护马达使用寿命。第四层过滤/HEPA或ULPA过滤器：HEPA可有效过滤0。3um微尘达99。99%，适合用在较细微的过滤。HEPA全部经过激光尘埃粒子计数器的检测。ULPA可以有效过滤99。999%的0。12um（相当于人类头发直径的1/960）d大小的粉尘，适用于CLASS1-10级无尘净化环境，国家航天局吸尘器。相信懂得无尘车间吸尘器的应该比较熟悉了吧，这样的过滤系统用在百级和千级无尘车间车间里面是不成问题的。