真空检测系统目前基本都是用复合真空计，热偶规+电离规的组合，这个组合在遇到充入大量含有C元素的气体的工艺，电离规很容易毒化，造成电离规损坏，如果镀制含有大量C元素的气体的工艺，可以考虑，配置电容薄膜规。

抽真空系统目前基本的抽真空系统是扩散泵系统和分子泵系统。分子泵系统属于清洁抽气系统，没有扩散泵的返油现象，抽速也相对比较稳定，而且比较省电。

真空镀膜设备的环境要求：由于真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。放入水中之前先用听音法检查有无大漏，排除大漏后再放入水中，否则将会影响小漏孔的检测。制定的各种真空镀膜设备的行业标准（包括真空镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备）都对环境要求作了明确规定。真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室（或车间）的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。

薄膜的多元化及服务的客制化

进入21世纪的PVD技术与1990年代相比，已发生了极大变化，从单一的TiN、TiCN、TiAlN发展到现在的数十种镀膜型态，针对不同的切削加工应用条件，可对薄膜成分、结构进行选择，透过适当的制备技术，以获取令人满意的切削效果。真空镀膜后，须在镀件表面涂上一层镀膜油，这时该油又起着保护金属膜、染色等作用（即作为镀件的面涂层）。例如在齿轮加工中，除了对 zz覆膜刀具的使用寿命有严格要求外，如何保证齿轮的精度及表面质量同样至关重要，因此目前普遍采用的是复合膜层，即硬涂层+软涂层，当然对于不同的镀膜厂商而言，达成此目的的制程方法不尽相同；而在高速铣削加工中，往往只采用硬质涂层。