真空镀膜设备是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。而设备在系统工作的时候难免会遇到一些问题，就比如说系统工作时温度过高，那么如果遇到这种情况想要解决问题，首先的步骤就是找出原因，到底是些什么原因呢？

1.缺油2.供油管线堵塞3.油泵出现问题4.油蒸汽压低于指标5.工作气体温度过高6.油泵中外来物堵塞7.抽气口与排气口错误连接8.环境温度达到或超过油蒸汽压。

在使用真空镀膜设备的时候经常会遇到这个问题，真空镀膜机抽速太慢太低了。那么面对这种情况有什么解决方法呢？应该如何提高它的抽速呢？

定期的给炉壁退镀表面膜层减少放气量。若真空蒸发镀膜机使用了非常长的时间，会发现抽真空变慢，须更换机台防着板，之后加温烘烤。若忽然变得很慢，请使用设备来捡漏，重点部位主要在：坩埚下、热电偶下、旋转机械部上、泵接触部位等。

以上就是一些提高真空镀膜设备抽速的方法，做好这些，相信抽速就会快起来。

涂层的镀膜机控制方法是***直接的石英晶体微天平（QCM）的方法，该仪器可以直接驱动的蒸发源，通过PID控制回路传动挡板，使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接，它可以控制涂层的全过程。但（QCM）的准确性是有限的，镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。膜层的结合力强：在溅射过程里，有部分电子会撞击到基材表面，且产生清洁作用，而镀材通过溅射所获得的能量比蒸发所获得的能量高出1到2个数量级，带有如此高能量的镀材原子撞击到基材表面时，有更多的能量可以传递到基材上，产生更多的热能。

此外，虽然QCM在低温下非常稳定，但温度高，它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中，镀膜机很难避免传感器为敏感的区域，导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种高精度涂层优选的监控模式，镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度（如果使用得当）。