催化燃烧与直接燃烧净化法一样，均属于热力破坏法，其机理都是氧化和热裂解、热分解废气中的有机成分，分解为二氧化碳和水。

但对处理高浓度的有机废气，通常认为催化分解是较为理想的方法。其原因是催化燃烧的温度要比热焚烧的温度低得多，而且***、能耗低、压降小、所需设备体积小，避免产生氮氧化物。

催化燃烧是使用不同种类的催化剂，利用其可以降低反应活化能的原理，使VOCs在温度比较低的情况下，将其完全氧化为CO2和H2O，一般当温度控制在300℃~450℃的范围内，大部分碳氢化合物可在被其氧化，并且去除率高达98%以上。

RCO燃烧方式与CO相同，换热方式与RTO相同，由于投资堪比RTO，能处理的废气种类受催化剂影响又比RTO少，很多企业采用RCO工艺。

RTO与RCO废气处理时的十点异同

现就废气适用种类、废气浓度、废气流量、辅助能源、仪表自控、安全风险、环保风险、动力负荷、主设备投资、运行成本等方面进行比较。两种工艺都可以用于处理烷烃、芳香烃、酮、醇、酯、醚、部分含氮化合物等有机废气。含硫磷类废气会使催化剂，不适合用RCO处理，而如果忽略含硫磷废气燃烧时对设备仪表的少量腐蚀，可以限制性的使用RTO处理。

吸收技术是采用不易挥发的对废气进行吸收，将VOCs溶解在溶剂中。该技术能在有机废气流量大、浓度高时使用，但吸收剂循环运行的操作费用较高，限制了该技术的发展。吸附技术是使用活性炭、分子筛等多孑L吸附材料将废气中的VOCs吸附于吸附剂表面，从而达到分离的目的。虽然吸附技术应用广泛，但该技术只适用于低浓度VOCs，高浓度VOCs将导致吸附剂的频繁再生，不仅增加废气处理的成本，而且再生的过程也存在VOCs逃逸的危险。