氦质谱检漏方法

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率快，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦质谱检漏仪应用行业

单晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空炉 ，镀膜机，互感器，避雷器，C-GIS组合电器，电力开关，真空灭弧室，高真空阀门 ，LED外延片，出口灭火器，X射线管，石化换热器，磁流体，密封继电器，气体流量计 ，隔膜压力变送器 ，气体发生器  ，ITO镀膜玻璃 ，LOW-E玻璃  ，压力容器  ，化工容器，低温储罐  ，LNG 低温气瓶 ，玻璃烧结件，陶瓷密封连接器 ，陶瓷烧结件 ，TO封装 ，高真空排气台，真空冻干机 ，光器件，石英晶体谐振器，高压开关，换热器，电真空器件，SF6管路，波纹管，ITO设备，半导体，辐照电线电缆 交联电线电缆，真空钎焊，真空热处理等。

氦质谱检漏仪的进展

（1）便携式：各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。

氦质谱检漏仪的环境条件

氦质谱检漏仪是现在比较常用的仪器，今天华诚浩达的小编就和大家来说一下，氦质谱检漏仪的使用环境条件有哪些，希望对您有所帮助！

校准环境温度为(23 ± 5) ℃ ，校准过程中室温变化不超过± 1℃ ，环境相对湿度不大于80% 。

校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。

环境温度较好控制在23℃ 附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃ 。