真空泵的分类

常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、隔膜泵、涡旋泵、罗茨泵、扩散泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、低温泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中***的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。

变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。

动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。

变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。

真空泵的用途

制药和化工：真空泵应用领域包括化妆品与盥洗卫生品、肥皂与合成洗涤剂、表面活性剂、印刷油墨及其助剂、粘接剂、感光材料、水处理剂与高分子絮凝剂、造纸助剂、皮革助剂、矿物浮选剂、铸造用化学品、金属表面处理剂。

真空镀膜、真空干燥、表面处理：在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着至关重要的作用。

真空技术中的清洁处理

真空技术中的清洁处理一般指的是真空装置的结构材料、填装材料和真空零部件的清洁处理。

在各类真空工艺生产中，例如电真空工艺、真空镀膜工艺、真空焊接工艺等，都十分重视真空卫生问题。在电真空工艺中，要求装配到高真空环境的零件，事先都必须小心地进行清洗处理，否则各种污染物可成为大量气体和蒸气的来源，会大大延长真空器件的排气时间，不易获得高真空。

去除或减少污染物将有利于获得良好真空，增加连接强度和气密性，提高产品的寿命和可靠性。