真空机组选型

因在实际生产应用中工作条件的不同，吸入气体及压力会发生很多变化，所以华诚浩达建议在选型时应根据实际抽气过程、气体释放过程、可凝性气体冷凝情况、吸入压力的时间变化等等进行校核计算或参照现有设备使用情况选型。多少真空度，多少时间要达到这个真空度，环境是否需要无油，预算多少等等。比如说10的-4次方pa的真空，至少得上扩散泵，如果需要无油环境还得上分子泵。

无油超高真空机组

不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油超高真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:

①可获得清洁真空、无污染源;

②当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;

③如突然抽气停止，不会污染系统;

④无油、无声、无振动，改善了工作环境;

⑤极限真空度高，抽速大，抽气时间短。

油封机械泵机组抽除可凝性气体的措施

油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴,并与泵油混合形成悬浮液,破坏泵的抽气性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用带有气镇装置的油封机械泵,并将泵的工作温度控制在75~90℃之间,以减少气镇阀负担在机组中安装水汽分离器或油水分离装置,处理混有水的机械泵油,处理过的油再进入泵中使用;用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸气;使用各种冷凝器或冷阱,不仅能有效地吸附水蒸气,同时还可以阻挡机械泵向真空室的返流。