真空机组设计计算的一般程序

A.真空室总放气量的计算;

B.确定真空室的有效抽速;

C.粗配主泵和粗配前级好凯德真空泵;

D.根据要求选择阀门、捕集器、除尘器等真空元件;

E.绘制真空系统装配草图，确定各部分的尺寸;

F.复核计算各真空泵的参数，如果粗选的真空泵达不到要求，就需要重新选泵和配泵，直到满足各参数要求为止;

G.绘制真空系统装配图;

H.绘制零件图，绘制施工图。

真空泵机组的介绍

水环真空机组以罗茨泵1为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。水环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利，因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，而且与此同时又保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率的优点。它能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能，或者是真空系统不允许油污染时更为明显。

扩散泵超高真空机组

以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。

为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的超高真空。

真空机组的工作原理

真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。