真空机组操作规程

真空机组安装前检查设备的完整性，并熟悉所配各泵的使用说明书。将机组就位固定好底角，按要求连接管路。罗茨真空机组启动前，要检查系统各管道是否有泄漏；液环泵启动前要点车启动，检查是否被卡住；启动前还要按《好凯德罗茨真空泵使用说明书》将罗茨泵油箱及油杯内油位注至要求；并且连接好罗茨泵的冷却管路，保证罗茨泵轴封端的冷却效果。真空机组装配好控制柜，按电气原理图联接电动机和电接点真空表。给电控柜送电前，还应遥测其绝缘电阻10MΩ，且机架与各电机有良好的接地。

扩散泵超高真空机组

以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。

为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的超高真空。

油封机械泵机组抽除可凝性气体的措施

油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴,并与泵油混合形成悬浮液,破坏泵的抽气性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用带有气镇装置的油封机械泵,并将泵的工作温度控制在75~90℃之间,以减少气镇阀负担在机组中安装水汽分离器或油水分离装置,处理混有水的机械泵油,处理过的油再进入泵中使用;用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸气;使用各种冷凝器或冷阱,不仅能有效地吸附水蒸气,同时还可以阻挡机械泵向真空室的返流。