氦质谱检漏方法

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率快，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦质谱检漏仪示踪气体选择

对示踪气体的要求：氦质谱检漏仪都用氦气(He)作为示踪气体，也有用氢气(H2)作为示踪气体的质谱检漏仪器。

氢和氦都是比较理想的示踪气体：空气中的含量少，质量轻，运动速度快，同等条件下，直线运动距离长。实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。但氢气在使用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气。质谱检漏仪器示踪气体一般具有以下特点：

1、无害，不能对人体或环境造成伤害。

2、质量轻，惰性气体，能穿透微小细缝。

3、化学性质稳定，不会起化学反应。

4、Z好是只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。

氦质谱检漏仪应用行业

单晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空炉 ，镀膜机，互感器，避雷器，C-GIS组合电器，电力开关，真空灭弧室，高真空阀门 ，LED外延片，出口灭火器，X射线管，石化换热器，磁流体，密封继电器，气体流量计 ，隔膜压力变送器 ，气体发生器  ，ITO镀膜玻璃 ，LOW-E玻璃  ，压力容器  ，化工容器，低温储罐  ，LNG 低温气瓶 ，玻璃烧结件，陶瓷密封连接器 ，陶瓷烧结件 ，TO封装 ，高真空排气台，真空冻干机 ，光器件，石英晶体谐振器，高压开关，换热器，电真空器件，SF6管路，波纹管，ITO设备，半导体，辐照电线电缆 交联电线电缆，真空钎焊，真空热处理等。

氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求

氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能***。秀长的体积，***的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了***分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点：

1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；

2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；

4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。

5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。