氦质谱检漏仪特点

1，气路设计，提高了对氦的抽速，缩短了清氦本底时间，有效防止氦污染。2，检漏口配备：定制精密过滤装置，可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3，多模式功能输入、输出，轻松连接各种自动化设备。4，机械与电路有效分开，避免了温度、电磁场等彼此干扰，使检漏仪运行更加稳定、可靠。5，可检漏率低，灵敏度高，检测量程达到11级。

氦质谱检漏仪的应用

氦质谱检漏仪的行业应用，KM6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加有几千米长，采用氦质谱检漏仪负压检漏，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力氦气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内氦浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，因此有效提高了检漏灵敏度。航天工业中，各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用氦质谱检漏仪及其检漏技术。

氦质谱检漏仪的保养注意事项

1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间

2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。

3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。

4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）

5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。

6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。