实现洁净度要求的通风措施

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（1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用***或亚***过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行***一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。

（2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

洁净室气流组织考虑原则

（1） 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。（2） 洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。

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洁净室设计对生产工艺的要求

在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起，把洁净度要求高的工序设置在上风侧，把产生粉灰、有毒、有害、、废气的工艺设备、容器尽可能放在洁净区外，若必须放在洁净区内时应尽量采取密闭措施以减少粉尘和废气的排放量。

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洁净室节能的技巧

双温度冷冻循环

冷冻系统通常设计成可以承受较大负荷，不管负荷发生得是否频繁。流程中处于冷冻循环的冷冻水温度，是由负荷中只占一小部分的***热负荷来确定，这只是许多情况中的一两种。这会造成冷冻能力过剩，在负荷不足的情况下效率低下。当供给的冷冻水的温度较低时，冷冻机的工作效率也会很低。平均来说，冷冻水的供给温度每增加一华氏度，冷冻器效率就提高一个百分点以上。如果划分负荷，提供两个不同温度的冷冻水，那么工作效率将会更高。设计者可以使用并联循环管路，将他们分成两个子系统，这样可以在需要冷量的时候，冷冻机可以工作在相对不很苛刻的条件下。

设计人员可以使用并联循环管路，将他们成两个子系统，这样可以在需要冷量的时候，冷冻机可以工作在相对不很苛刻的条件下。用***冷冻机进行中等温度的循环（例如55℉到65℉），它的运作是针对冷冻水的温度进行优化的，可以满足工厂的大部分需要。另一个较小的冷冻机提供温度较低的循环（例如：39℉到43℉），可以满足负荷中要求苛刻的部分。

这个方案可以迅速增加整个冷冻机机组的效率提高百分之二十五或更多。对于相同容量的冷冻机，高温工作要比低温工作花费小得多。