工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定

测点布置在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净效果进行技术分析,还应在回风口、走廊及室外布置测点。工作区测点的布置一般距离地面0.8~1m为宜。认为需要布置测点的其他部位.水平单向流洁净室的测点应布置在一工作区内.回风口的测点布置﹑

回风口的测点布置：在有代表性的回风口处.

走廊的测点布置：走廊的测点应布置在走廊的中段距地面lm处.

室外的测点布置：室外的测点应布置在系统的新风口或大门口距地面1m 以上具有代表性的部位.

洁净室检测静电检测

一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。

洁净室检测等动力采样的问题

所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径，即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，如果这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。

风量罩检测洁净室风量的流程

1 打开风量仪电源，将风量仪倒扣在地板上，在无风地点进行风量仪校零的工作，上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。

2 按屏幕上的测量键进入测量房间号码的输入。输入完再次按测量键进入测量界面。

3 复零校准结束之后，直接将风量罩的开口完全罩住过滤器或者散流器，并检查是否存在泄漏的情况。风量罩的接触面要是平面，以防止旁通气流和不准确读数。

4 查看风量仪的读数是否超过风量仪的大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

5 稳定 10s 后即可读取风量仪上的数值，并记录。测量完毕之后，关闭电源即可。

6 仪器会自动保存测量数据，出现不明原因导致的数据可以按屏幕上的清除键可以清除当前数据。