洁净室气流流向检测

一、 测试目的

平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。

二、 测试方法

洁净室检测压差标准要求

按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。

(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。

(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。

风量罩检测洁净室风量的流程

1 打开风量仪电源，将风量仪倒扣在地板上，在无风地点进行风量仪校零的工作，上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。

2 按屏幕上的测量键进入测量房间号码的输入。输入完再次按测量键进入测量界面。

3 复零校准结束之后，直接将风量罩的开口完全罩住过滤器或者散流器，并检查是否存在泄漏的情况。风量罩的接触面要是平面，以防止旁通气流和不准确读数。

4 查看风量仪的读数是否超过风量仪的大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

5 稳定 10s 后即可读取风量仪上的数值，并记录。测量完毕之后，关闭电源即可。

6 仪器会自动保存测量数据，出现不明原因导致的数据可以按屏幕上的清除键可以清除当前数据。