洁净室检测静电检测

一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。

洁净室检测哪些方面？

可分为洁净室工程竣工验收的检测、综合性能评定的检测和运行中的监测及定期综合性能检测，目的是认证该洁净室（区）是否始终符合设计要求，确保工厂的生产环境满足产品质量需求，达到稳定的产品质量、成品率，创造较好的经济效益。

建设单位关心运行状态下的洁净室空气洁净度等级，即生产设备运转及操作人员在场的工作状态时的测试结果，即动态的测试结果。而施工者通常希望在空态下测试的结果作为工程竣工验收结果。

我国GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》中明确规定，工程竣工验收及综合性能评定主要由建设单位负责，设计和施工单位配合，且竣工验收的检测和调整应在空态下进行，综合性能评定的检测状态应由建设单位、设计单位和施工单位三方协商确定。主要原因是洁净室动态测试一般超出了洁净室施工单位的控制范围，而且以空态或静态作为检测状态的规定更能及时客观地评价工程的质量。

洁净室照度检测

应该在洁净室每个工作地点（例如书桌、工作台）测量照度，然后加以平均。对于没有确定工作地点的空房间或非工作房间，如果单用一般照明，通常选 0.8m 高的水平面作为照度测量面。将测量区域划分成大小相等的方格（或接近方形），测量每格中心的照度 Ei ，则平均照度等于各点照度的算术平均值。照度的不均匀度计算，照度是指洁净室内照明全开时，室内小照度与平均照度的比值，它是评价照度均匀性的一个重要指标。

洁净室照度检测注意事项 

（1）测量之前，室内照度必须已经趋于稳定；  

（2）荧光灯已经由 100h 以上的使用期，检测前已经点燃 15min 以上，白炽灯已有 10h 以上的使用期，检测前已经点燃 5min 以上。  

（3）测点距离地面高 0.8m，按 1~2m 间距布点。30m2 以内的房间测点距墙面0.5m，超过 30m2 的房间，测点距墙 1m。

洁净室竣工后，再投入使用之前，首先要经过国家授权的检测机构的检测，并且取得 洁净室检测合格报告，然后消毒以后，才能正常使用。