洁净室(区)空气洁净度检测等级
(1)空气洁净度100 级的洁净室(区)应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样,当大于等于5μm 尘粒多次出现时,可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时,洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65 %
(2)洁净室(区)应根据生产要求提供照度,并应符合下列规定:
(3)辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。
(4)非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A),单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于65dB(A)。
洁净室工作服检测
(1)ASTM-F-51法(显微镜法)测试探头装有过滤隔膜,直接连接吸风计量泵,通过的空气量为28L/min。测试时使空气通过试验衣料,将空气中含有的发尘粒子捕到试验用的滤膜上,用400倍显微镜观察并统计尘埃粒子数。读出滤膜上面的0.5-5以及5以上的粒子个数。在滤膜上面印有3.08mm的格子,可以读出一个格子内的粒子数。
(2)ASTM-F-51修订法(计数法)使空气通过试验衣料,用粒子计数器测定发尘粒子的大小和个数。把试样放置在带金属网的台架上,用采样器(用47mm的过滤器支架代替)接触吸引,通过的空气量为28L/min。
(3)振动法把试样放在小室内,通过振动扭转产生粒子,用粒子计数器测定。同时,对粒径大的粒子(25以上)捕集到滤膜上,读出粒子个数。风量为3.5英尺/分(0.099m/mim),振动次数为150次/分。
(4)滚桶法(Helmke Drum Test)把试样放入一个侧面开口的旋转的滚桶内旋转,从粒桶内对发尘粒子采样,用粒子计数器测定粒子个数后决定洁净度的级别。旋转滚筒尺寸为43cm×33cm,在桶的内侧有4个叶片,桶的转数为10转/分。
洁净室检测等动力采样的问题
所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径,即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度,如果这些粒子不受非等动力条件的影响,则计算结果也不受影响。因此,净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。
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