洁净室检测-采样量

不同洁净度级别的洁净室,其采样量是不同的,采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间,关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工质量验收规范>中规定,粒子计数器应使用采样流率大于1L/min,小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上),其测量的结果误差较大,即使采用延长采样时间提高采样量也消除不了测量误差。因此,对于单向流洁净室的洁净度测定,应采用采样流率为2.83L/min的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采样的小采样量应符合下表所列的数量。

洁净室检测测试

1．洁净室内面积在15M以下之场合，测在1'及2'位置，测定的点数:2。

2．洁净室内面积在15M以上 100M以下时，测位置在1，2，3，4，5个点位置，测数:5。

3．洁净室地板面积超过100M2时，除以上之5点外，每增加10OM2须外加4点或将全部区域以3×3MP单位分割成数区域，每区各取一测试点。

4．空气取样口须垂直向上，取样测试高度一般约在1.2M~1.25M 之间,相当于工作桌之高度或作业高度。

洁净室检测仪器的选用

尽管对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。

洁净室污染源传播的途径

不但要弄清洁净室的污染源是哪些，其污染途径同样需要分析清楚。从大的方面来看，洁净室的污染粒子主要是通过空气传播与接触传播。但在很多情况下，这两种传播途径是交替存在的、协同传播的。所有的主要污染源都会将所发生、携带的污染粒子散布到空气中，微小的粒子会在空气中扩散，或随气流运动并接触到洁净室的产品或研究对象而构成污染。这些微粒子还可能粘附在墙面、地面、设备表面上，因人员操作、走动或气流的扰动又重新扩散到空气中去，形成二次污染。

较大的粒子如碎屑、细末和纤维，不会远离其生成的地点，但也存在掉落在产品、产品构件之中,或者附着在它们的表面上构成污染。这些粒子还会掉落﹑粘附在操作人员的手套、服装上，随后又污染了其他的产品和洁净室表面。

但机器设备、容器、包装、原材料、手套、服装等与产品直接接触时，附着其上的污染物就可以通过“接触”这个途径传播给产品。