洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室（区）空气洁净度检测等级

（1）空气洁净度100 级的洁净室（区）应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm 尘粒多次出现时，可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时，洁净室（区）温度应为18～26℃，相对湿度应为45%～65 %

（2）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：

（3）辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。

（4）非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB（A），单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于65dB（A）。

洁净室压差检测

1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后，一头与大气连通，另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值，就可以得到被测的气压值。

2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况，U 型压力计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的度较高。所以与 U 型压力计比较，斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示，斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性，它在 a 角较小时，微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化，都能从 l 值的变化灵敏的辨认，因此常用于测微压差。

3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值，如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化，测定一个空间与其周围环境间的压差值，并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于，它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差；不同之处在于它不是依据机械方式，而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。