洁净室检测注意事项

1．检查测定仪器是否正常，并作外表洁净后方可进入测试环境，采样管必须清洁并无渗漏，仪器按规定预热至稳定。

2．测试点及采样次数均应在测试开始前确定，防止在测试过程中随意改变测试点及改变采样次数。

3． 计数器采样口和仪器工作位置应在同一气压和温度下，以免产生测量误差。

4．在确认洁净室(区）送风量和压差达到要求后，方可进行采样。布置采样点时，应避开回

风口。

5．更换测试点时，应待仪器读数下降至稳定后，方可开始新测试点的读数。4.3.6.测试过程中测试人员应位于采样口的下风侧。

7．采样管的长度为仪器使用所允许的长度。无规定时，不宜超过1.5米。

8．测试结果不符合洁净级别要求时，应按原方法重复一次，并且每个测试点的采样次数增加2次;重复测试结果符合规定时，即可判定为符合该洁净级别的要求。

洁净室检测结果评定

1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。（采样点>9个)

2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。（采样点≤9个)

3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别，≥0.5um:2.83L/次，≥5um:2.83L/次

洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室压差日常监测如何控制

一.关于压差报警，允许对压差报警设定，以满足日常操作需要（如进出开门），但需要合理确定该项活动所需要的时间，并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报，以允许洁净室的正常活动，如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。

二.有关缓冲间门的要求，除非安装充气密封（equipped with inflatable seals），否则开门后压差存在泄漏（客观事实）。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时，气闸（缓冲间）的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而，除非这些门装有充气密封，否则当其中一扇门打开时，通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大（客观事实）。