洁净室检测程序

洁净室的检测主要是指对洁净室或洁净区域的空气洁净度等级进行测定，生物洁净室还要进行浮游菌、沉降菌的测试。在工程建设过程中的检测主要包括工程竣工验收和洁净室综合性能评定两个阶段的检测。在洁净厂房使用过程中，应对洁净室或洁净区域进行监测，并定期进行综合性能测试，以认证该洁净室或洁净区域是否始终符合要求。洁净室的检测首先应明确洁净室或洁净区域的占用状态，按照GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》规定，洁净室检测状态分为空态、静态和动态三种：

a.空态检测。设施已建成，其服务动力共用设施区接通并运行，但在无生产设备、材料和人员的状态下所进行的测试称为空态检测。

b. 静态检测。设施已建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态下所进行的测试称为静态检测。

c. 动态检测。设施以规定的方式运行，并在商定的状态下进行工作，在此情况下进行的测试称为动态检测。

洁净室的气流组织

洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。

洁净室检测

1．洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。

2．风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处，用热线式风速计测定，原则上每只ULPA测定两点，每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值，以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积（ULPA之面积)。

洁净室压差检测

1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后，一头与大气连通，另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值，就可以得到被测的气压值。

2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况，U 型压力计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的度较高。所以与 U 型压力计比较，斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示，斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性，它在 a 角较小时，微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化，都能从 l 值的变化灵敏的辨认，因此常用于测微压差。

3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值，如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化，测定一个空间与其周围环境间的压差值，并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于，它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差；不同之处在于它不是依据机械方式，而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。