洁净室检测的洁净度
主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。
换气次数:根据洁净室总风量除以法净室的容积求得
洁净室检测检测内容
竣工验收GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》中明确规定,竣工验收在对各分部工程作外观检查、单机试运转、系统联合试运转,空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录合格后进行。
综合性能评定综合性能评定的检测工作必须由有经验的第三方承担,而且所用仪表必须合格有效。检测工作须在系统调整符合设计要求并运行至少24h后进行,而且在检测之前,必须对洁净室及净化空调系统再次进行的清扫。
洁净室(区)性能测试和认证洁净室(区)投入运行后,为了检测其综合性能是否可以始终符合设计要求、标准规范的规定和满足业主的产品生产质量要求,需对洁净室(区)进行监测和定期性能测试认证,测试认证工作应由专门的洁净室检测认证单位承担。
缓冲洁净室压差的检测要求
应监测开关门后压差恢复的情况,确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些(开关门)常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:
1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打开一边的门,注意房间或区间压力波动。关门,确认压差回到其原始值;
3.泄漏通道,例如门周边泄漏,应进行评估,作为洁净间设计的一部分,以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
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