洁净室自净能力检测

一、测试目的，确认在无尘室释放颗粒后，测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。

二、测试仪器，颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、2100、颗粒释放器。

三、测试位置，任意抽取测量点，也可与相关人员共同确认测试点。

四、测试步骤

1.在测试开始之前要保证净房空调系统正常运转24以上，让洁净环境达到一个稳定的水平。

2.在抽取的测量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，记录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数量，连续测试数分钟，待取一个稳定的数据，此时，再将该房间的整个空调系统全部断电。

3.在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度达到之前浓度的10或100倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间

洁净室的气流组织

洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。

缓冲洁净室压差的检测要求

应监测开关门后压差恢复的情况，确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些（开关门）常规压差变化，以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估：

1.关闭所有的门和传递窗，定义所有设备的运行状态，观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差，注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动；

2.每个缓冲间、传递窗或转移舱，打开所有的门，一次打开一边的门，注意房间或区间压力波动。关门，确认压差回到其原始值；

3.泄漏通道，例如门周边泄漏，应进行评估，作为洁净间设计的一部分，以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。