洁净室检测点的布置
根据中华人民共和标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定:在对净化车间进行洁净度检测时,检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点,测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。
洁净室检测应控制人员散发的污染
人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。根据试验,人员身着一般工作服行走时,每分钟所散发的≥0.l u m的颗粒数可高达1.9×lpcs/人·min。
控制人员散发的污染,首先是控制进入洁净室的人员数量。生产、科研无直接关系,未经洁净室工作人员守则培训的人员,一律不得进入洁净室。进入的人员要遵守洁净室工作守则,整齐穿着洁净室工作服,戴工作手套、口罩、发帽,穿洁净靴,经洁净通道进入。
洁净室检测
1.洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。
2.风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处,用热线式风速计测定,原则上每只ULPA测定两点,每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值,以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积(ULPA之面积)。
洁净室检测对空气温度检测仪器的要求
1.玻璃温度计,玻璃温度计由感温包、温度计茎、毛细管、和储液包组成如图 所示。其测温原理主要为感温包内的液体受热后体积膨胀,从而液体在毛细管中的高度产生变化。玻璃温度计的特点是直观、成本低廉、精度高等特点。但由于测温时间较长。因此在洁净室工程验收中使用玻璃温度计进行温度测试时需要耗费很多时间。
2.数字温度计,数字温度计通常有温度传感器和显示装置组成。在测试过程中可以选择 所示的手持式温湿度计,也可以选择传感器和显示仪表来集成使用更加方便的数字温度计。常用的温度传感器有热电偶、铂电阻。
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