洁净室噪音度检测

一、检测准备，竣工图面（初版）与相关规范确认洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。洁净室环境需清洁完成。

二、测试目的，此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。

三、测试仪器，噪音仪

四、测试位置，每40m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增加测试点数。

五、测试步骤：

a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。

b.确认测试点及配置图编号。

c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，高度量测10秒后记录大值。

洁净室检测检测内容

竣工验收GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》中明确规定，竣工验收在对各分部工程作外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录合格后进行。

综合性能评定综合性能评定的检测工作必须由有经验的第三方承担，而且所用仪表必须合格有效。检测工作须在系统调整符合设计要求并运行至少24h后进行，而且在检测之前，必须对洁净室及净化空调系统再次进行的清扫。

洁净室（区）性能测试和认证洁净室（区）投入运行后，为了检测其综合性能是否可以始终符合设计要求、标准规范的规定和满足业主的产品生产质量要求，需对洁净室（区)进行监测和定期性能测试认证，测试认证工作应由专门的洁净室检测认证单位承担。

洁净室的气流组织

洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。

缓冲洁净室压差的检测要求

应监测开关门后压差恢复的情况，确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些（开关门）常规压差变化，以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估：

1.关闭所有的门和传递窗，定义所有设备的运行状态，观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差，注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动；

2.每个缓冲间、传递窗或转移舱，打开所有的门，一次打开一边的门，注意房间或区间压力波动。关门，确认压差回到其原始值；

3.泄漏通道，例如门周边泄漏，应进行评估，作为洁净间设计的一部分，以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。