洁净室检测测试规则

1.温度湿度，要求与生产及工艺相适应（温度18~26℃，相对湿度45~65%为宜)

2.压差洁净度级别不同的洁净室(区）之间压差>5Pa，洁净区与非洁净区之间压差≥10Pa。

3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态，生产设备已安装，室内没有生产人员的测试。

4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态，生产设备及生产人员等已处于正常生产状态下的测试。

5.静态测试时，室内人员应不超过2人。测试记录和报告中应标明所测试的状态。

6.测试状态:静态测试和动态测试

洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室检测压差标准要求

按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。

(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。

(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。

不同级别相邻洁净室间检测的压差

防止从相邻的洁净度较低的区域向洁净室传播污染的主要方法是:维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为1~lPa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差,目的是当房间的门处于关闭情况时通过缝隙的气流流向是由别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区，再流向室外，这样就可减少室外向服务区、服务区向低级别洁净室，低级别洁净室向别洁净室传播空气中的悬浮污染物。