洁净室检测测定

可分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工,空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内无生产设备和工作人员状态下进行的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内生产设备已安装,无工作人员状态下进行的测定。动态是指洁净室已处于正常生产状态下进行的测定。

对于新建的洁净室竣工验收,应进行空态或静态测定。而综合性能的评价是指在动态条件下测定,是由建设单位负责,设计、施工单位配合。

洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室压差日常监测如何控制

一.关于压差报警，允许对压差报警设定，以满足日常操作需要（如进出开门），但需要合理确定该项活动所需要的时间，并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报，以允许洁净室的正常活动，如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。

二.有关缓冲间门的要求，除非安装充气密封（equipped with inflatable seals），否则开门后压差存在泄漏（客观事实）。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时，气闸（缓冲间）的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而，除非这些门装有充气密封，否则当其中一扇门打开时，通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大（客观事实）。