洁净室气流流向检测
一、测试仪器
1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪
二、测试步骤
1. 用支架设立垂线作为基准线。
2. 将细线在室内悬吊,使其自然下垂,细线会随空气流向飘移。 计算偏移角=tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾,其方式很类似,就是在滤网下施放烟雾,然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触,将红线当成烟雾,再计算夹角就可以了。
洁净室检测的压差
正压差值并非是越大越好,许多理论研究和实践都证明,人员物料通过门时,即便门两侧关门压差高达 1~1Pa,仍难避免随人员、物料向内移动时携带气流将污染带入室内。特别是当门两侧存在温度差别时,门敞开后,即便无人走动,在开口断面部分面积上也存在逆向气流,带入空气的悬浮污染物。此外,过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严,门缝气流造成哨声噪音,以及因气流外溢过量而补风量增加,浪费能源和加重各级过滤器负担。
洁净室压差检测
1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后,一头与大气连通,另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值,就可以得到被测的气压值。
2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况,U 型压力计的玻璃管垂直读数,斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后,同样的压差在玻璃管中显示的距离较大,读数的度较高。所以与 U 型压力计比较,斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示,斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性,它在 a 角较小时,微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化,都能从 l 值的变化灵敏的辨认,因此常用于测微压差。
3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值,如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化,测定一个空间与其周围环境间的压差值,并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于,它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差;不同之处在于它不是依据机械方式,而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。
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