洁净室检测测试步骤
A、室内测试人员必须穿洁净服,不得超过2人,应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。
B、检测前和检测后设备“清零”
C、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。少采样点数目对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。
工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
洁净室的气流组织
洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口,以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势,与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后,侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险,使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离,也是必要措施之一。
洁净室检测应控制人员散发的污染
人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。根据试验,人员身着一般工作服行走时,每分钟所散发的≥0.l u m的颗粒数可高达1.9×lpcs/人·min。
控制人员散发的污染,首先是控制进入洁净室的人员数量。生产、科研无直接关系,未经洁净室工作人员守则培训的人员,一律不得进入洁净室。进入的人员要遵守洁净室工作守则,整齐穿着洁净室工作服,戴工作手套、口罩、发帽,穿洁净靴,经洁净通道进入。
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