洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室工作服检测

（1）ASTM-F-51法(显微镜法)测试探头装有过滤隔膜，直接连接吸风计量泵，通过的空气量为28L/min。测试时使空气通过试验衣料，将空气中含有的发尘粒子捕到试验用的滤膜上，用400倍显微镜观察并统计尘埃粒子数。读出滤膜上面的0.5-5以及5以上的粒子个数。在滤膜上面印有3.08mm的格子，可以读出一个格子内的粒子数。

（2）ASTM-F-51修订法(计数法)使空气通过试验衣料，用粒子计数器测定发尘粒子的大小和个数。把试样放置在带金属网的台架上，用采样器(用47mm的过滤器支架代替)接触吸引，通过的空气量为28L/min。

（3）振动法把试样放在小室内，通过振动扭转产生粒子，用粒子计数器测定。同时，对粒径大的粒子(25以上)捕集到滤膜上，读出粒子个数。风量为3.5英尺/分(0.099m/mim)，振动次数为150次/分。

（4）滚桶法(Helmke Drum Test)把试样放入一个侧面开口的旋转的滚桶内旋转，从粒桶内对发尘粒子采样，用粒子计数器测定粒子个数后决定洁净度的级别。旋转滚筒尺寸为43cm×33cm，在桶的内侧有4个叶片，桶的转数为10转/分。

洁净室照度检测注意事项 

（1）测量之前，室内照度必须已经趋于稳定；  

（2）荧光灯已经由 100h 以上的使用期，检测前已经点燃 15min 以上，白炽灯已有 10h 以上的使用期，检测前已经点燃 5min 以上。  

（3）测点距离地面高 0.8m，按 1~2m 间距布点。30m2 以内的房间测点距墙面0.5m，超过 30m2 的房间，测点距墙 1m。

洁净室竣工后，再投入使用之前，首先要经过国家授权的检测机构的检测，并且取得 洁净室检测合格报告，然后消毒以后，才能正常使用。