洁净室检测-采样量

不同洁净度级别的洁净室,其采样量是不同的,采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间,关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工质量验收规范>中规定,粒子计数器应使用采样流率大于1L/min,小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上),其测量的结果误差较大,即使采用延长采样时间提高采样量也消除不了测量误差。因此,对于单向流洁净室的洁净度测定,应采用采样流率为2.83L/min的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采样的小采样量应符合下表所列的数量。

洁净室气流流向检测

一、 测试目的

平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。

二、 测试方法

洁净室检测点的布置

根据中华人民共和标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定:在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。

洁净室泄漏检测

1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。

2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，

3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。