洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室检测应控制人员散发的污染

人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。根据试验，人员身着一般工作服行走时，每分钟所散发的≥0.l u m的颗粒数可高达1.9×lpcs/人·min。

控制人员散发的污染，首先是控制进入洁净室的人员数量。生产、科研无直接关系，未经洁净室工作人员守则培训的人员，一律不得进入洁净室。进入的人员要遵守洁净室工作守则，整齐穿着洁净室工作服，戴工作手套、口罩、发帽，穿洁净靴，经洁净通道进入。

缓冲洁净室压差的检测要求

应监测开关门后压差恢复的情况，确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些（开关门）常规压差变化，以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估：

1.关闭所有的门和传递窗，定义所有设备的运行状态，观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差，注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动；

2.每个缓冲间、传递窗或转移舱，打开所有的门，一次打开一边的门，注意房间或区间压力波动。关门，确认压差回到其原始值；

3.泄漏通道，例如门周边泄漏，应进行评估，作为洁净间设计的一部分，以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。

洁净室照度检测步骤 

（1）测量被测洁净室的长度和宽度，记录在原始记录纸上，并计算房间的面积；

（2）根据洁净室照度检测采样要求，进行布点，在每个测量点做好标记， 并在记录纸上画出测点布置示意图；

（3）准备好照度仪，并确定照度仪能正常使用，开启照度计，将探测头放置在测点位置上；

（4）每个测点等照度读数稳定时，一般间隔 1min，将该值记录在原始记录纸上。

（5）对测试数据按公式计算处理，与接受标准进行比较，判断照度是否合格。