洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室检测压差标准要求

按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。

(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。

(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。

洁净室检测测试

1．洁净室内面积在15M以下之场合，测在1'及2'位置，测定的点数:2。

2．洁净室内面积在15M以上 100M以下时，测位置在1，2，3，4，5个点位置，测数:5。

3．洁净室地板面积超过100M2时，除以上之5点外，每增加10OM2须外加4点或将全部区域以3×3MP单位分割成数区域，每区各取一测试点。

4．空气取样口须垂直向上，取样测试高度一般约在1.2M~1.25M 之间,相当于工作桌之高度或作业高度。

洁净室检测等动力采样的问题

所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径，即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，如果这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。