洁净室检测仪器的选用

尽管对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。

洁净室检测

1．洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。

2．风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处，用热线式风速计测定，原则上每只ULPA测定两点，每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值，以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积（ULPA之面积)。

洁净室检测对空气温度检测仪器的要求

1.玻璃温度计，玻璃温度计由感温包、温度计茎、毛细管、和储液包组成如图  所示。其测温原理主要为感温包内的液体受热后体积膨胀，从而液体在毛细管中的高度产生变化。玻璃温度计的特点是直观、成本低廉、精度高等特点。但由于测温时间较长。因此在洁净室工程验收中使用玻璃温度计进行温度测试时需要耗费很多时间。

2.数字温度计，数字温度计通常有温度传感器和显示装置组成。在测试过程中可以选择 所示的手持式温湿度计，也可以选择传感器和显示仪表来集成使用更加方便的数字温度计。常用的温度传感器有热电偶、铂电阻。