电感耦合等离子体质谱仪

ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱仪，主要用途是进行化学元素分析检测，特别是对金百属元素分析擅长，也能分析B、P、As等非金属元素。他度和ICP-OES、AAS是化学元素分析的常用的三种仪器，ICP-MS的检测限较低，可以达到PPT（10的负12次方问）级。

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ICP-MS基本原理

样品进行ICP-MS分析时一般经过以下四步：

1）分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入ya气流中,然后进入由射频能量激发的处于大气压下的ya等离子体中心区；

2）等离子的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离；

3）部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统,在真空系统内,正离子被拉出并按其质荷比分离；

4）检测器将离子转化为电子脉冲,然后由积分测量线路计数；电子脉冲的大小与样品中分析离子的浓度有关,通过与已知的标准或参比物质比较,实现未知样品的痕量元素定量分析。

ICP-MS

ICP-MS全称电感耦合等离子体质谱（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry），可分析几乎地球上所有元素（Li-U）。

ICP-MS技术是80年代发展起来的新的分析测试技术。它以将ICP的高温（8000K）电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的强有力的元素分析、同位素分析和形态分析技术。

该技术提供了极低的检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、分析精密度高、分析速度快以及可提供同位素信息等分析特性。

自1984年台商品仪器问世以来，这项技术已从在地质科学研究的应用迅速发展到广泛应用于环境保护、半导体、生物、医学、冶金、石油、核材料分析等领域。被称为当代分析技术激动人心的发展。