几种检漏方法和检漏仪的比较发布

1.水检法      

这是zui简单的、原始的检漏方法，自行车胎就是采用此种方法。它是将被检工作充上大于大气压的空气。1.0-3.0Mpa)放人水中是否有气泡从工件中冒出来，冒泡的位置就是泄露的位置，而根据冒泡的速率,泡的速率,泡的大小，大约可估漏率。

2.卤素法

先前一般的制冷器都采用卤化物为冷媒，当灌注冷媒封口以后，用卤素检漏仪的探头在司疑之外寻找漏点，发现漏点就会声光报警，漏点和漏率也就相对确定了。

3．压力哀减法(压差法)

就是将被检工作，利用压缩机或压缩空气(一般1-3Mpa)连接进一个压力表，待充上气后，密封(确保封头不漏)，观察压力表24小时内压力降情况，如有漏则压力降低，但不能判断什么地方漏，漏多少。

当然还有许多其它方法，这些方法灵敏度一般达不到或只能勉强达到标准，或者说，只能检大漏,有的不能检出漏在哪里，漏多少等弊端。半导体氦检漏系统厂家

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真空箱式氦检漏系统

以下是科创真空为您一起分享的内容，锐诚真空公司生产销售氦检漏设备，欢迎新老客户莅临。

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和ji少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。

检漏设备在检测时需要留意的事项

运用检漏设备检测气密性的时分，留意不要随意拔下配管。其在加压状态下，制止取下衔接仪器和减压阀之间的一个接头和配管。也正是由于如此，其很多的压缩空气吹出，这样来讲的话，其实也便是会对人形成很大的损伤；本产品信息由科创真空提供，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科仪创新竭诚为您服务。再者，其在反常状态下其实也便是要制止进行运用。

检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分，其实也便是不要进行检测。否则的话，它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲，这样来讲，其实也便是会对人形成很大的损伤；在走漏测验完毕的时分，记住把空气扫除洁净之后，其实也便是要撤除被测物。

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。