右侧部分为气路原理

用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成，并可通过手动方式，控制内部截止阀（V1-V6的开关）

INLET1 - 设备所用背景气，一般为空气或氮气。

INLET2 – 原料气，用户可通过列表选择多种气体种类。

初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体，系统自动维持压力在0.5MPa以下，在使用二级配气条件下，初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下，用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。

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左侧选择框内为功能区

模式选择：

通过切换，选择浓度模式和流量模式两种基本控制模式。

浓度模式：用户根据自身配气需求，直接在输出设定中输入所需输出的气体浓度，并点击开始自动配出所需浓度气体。

流量模式：

用户通过每台MFC的手动流量设定，自行控制内部截止阀开关，进行自由设定，系统自动换算出当前输出气体浓度。、

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多点动态气体配气仪技术指标

常规稀释倍数为：200:1，两路MFC流量控制；

流量范围、稀释倍数等根据用户要求可随便设计及装配：

流量重复性：≤0.5%

流量线性误差：≤±0.3%

配气不确定度：<1%

预热时间：30min

自动调零：预热结束后自动调整MFC的零点，或从预热调零页面重复调零

仪器电源：220VAC

使用环境：5℃～45℃

外型尺寸：400mm宽x195mm高x500mm深

仪器重量：约8kg

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配气仪原理

配气原理为质量流量混合法。采用的质量流量控制器，控制器稀释气体及组分气体的流量。稀释气体可采用高纯氮气、纯净空气等。组分气可以使用纯气或一定浓度的混合标气。通过准确的设置，便可配置出 10-8 -10-2含量的各种标准气体。