气体质量流量控制器的主要优点是什么？

(1) 流量的测量和操纵不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲，难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计，工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差；针对质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略。 

(2) 测量操纵的自动化技术 质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对质量流量控制器来讲，还能够完成流量的自动控制系统。通常, 模拟的MFC/MFM数据信号为0~ 5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还装有RS232或RS485数据串行通信通信口, 能十分便捷地与电脑联接, 开展自动控制系统。

 (3) 定量操纵流量 质量流量控制器可以控制汽体的给定量，这对许多加工工艺全过程的流量操纵﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。

 (4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴，可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体（包含一些腐蚀汽体，如HCL）

什么是气体质量流量控制器？

气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用，更主要的是，它能控制气体流量，即客户可按照需求设定流量，MFC会自动地将流量稳定在设定值上，即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变，也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。

气体质量流量控制器使用注意？

1 加装过滤器

使用气体必须纯净干燥，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。

2 使用腐蚀性气体

流量计通道采用的材料为：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下，也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时，应在定货时声明，使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。

3 安装位置问题

本控制器安装时建议保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。

4 阀口密封问题

质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。

5 标定与不同气体的换算

本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。