右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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左侧选择框内为功能区
模式选择:
通过切换,选择浓度模式和流量模式两种基本控制模式。
浓度模式:用户根据自身配气需求,直接在输出设定中输入所需输出的气体浓度,并点击开始自动配出所需浓度气体。
流量模式:
用户通过每台MFC的手动流量设定,自行控制内部截止阀开关,进行自由设定,系统自动换算出当前输出气体浓度。、
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配气仪介绍
目前市面上多见的有两种原理的配气仪,一种是三通电磁阀原理,另一种是质量流量计原理。根据用户需要可自行选择。
利用单片机控制高速三通电磁阀,通过对两路气体通断进行选择,从而达到调节每一路气体的采样量,获得设定浓度的气体,从而实现气体配比。
电磁阀原理的配气仪的优点是气体适用范围比较广,精度高(可大1%),操作比较简单,价格相对较低。常规气体,无需经过特殊设置或换算,就可以直接使用。对于气体种类和所要配比的浓度,在仪器出厂前不需要调教。
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动态稀释配气仪主要特点
◆ 采用进口质量流量控制器,配气输出精度高
◆ 稀释比例灵活配置,适用范围广
◆ 自动校准,连续使用,具备自动校准零点
◆ 功能强大,可为多种仪器设备及传感器作校准及性能评价
◆ 配制的标准气体可直接使用,也可充入钢瓶或气袋备用
◆ 内置压缩空气发生器组件,无需用户提供压缩空气钢瓶
◆ 真彩色高分辨率触摸液晶屏,操作简易
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