流体系统

流体系统是流体机械的重要组成部分；在机械工程领域，流体系统是指与一维流体管网相关的元件及流体的集合，流体系统一般包括阀、液体泵(或气体压缩机)、管道、接头、孔和喷嘴等元件，也可能包括一些不规则形状的腔室和通道。在航空领域，典型的流体系统有飞机燃油系统、冷却润滑系统、防冰及除冰系统、发动机滑油系统及冷却系统等，这些系统无一不关乎着飞机及飞行员的的安全 。

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气体质量流量单位

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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