右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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技术优势
自动调节浓度
自动计算气体流量
压差和温差不影响质量流量测量
内部存储校准数据
经过多项校准,精度实际可达百分零点几
同时混合8种气体
测量和规定范围可根据客户要求定制
通过接口与外部PC连接控制
自动程序控制
通过校准检查质量流量控制器
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技术参数
◆ 四路进口质量流量控制器
◆ 仪器精度:±1%F.S。
◆ 稀释比为:300:1(流量范围、稀释倍数等根据用户要求可随便设计及装配)
◆ 输出流量:1000mL/min
◆ 流量线性误差:≤±0.5% F.S.
◆ 配气不确定度:≤±1% F.S.
◆ 预热时间:20min
◆ 环境温度:-20℃~+55℃
◆ 环境湿度:(15~85)% RH
◆ 大气压力:(86~106)KPa
◆ 电源电压:AC 220V±10% 50Hz
自动稀释仪
自动稀释仪一体化防水设计,不锈钢均质袋称量架,寿命长,无死角,易清洁。可编辑19个程序,标配含一个蠕动泵,大扩充至2个泵,稀释倍数:1-100。样品称重范围:垂直式三足称量单元,1-4000克,一键校准,自动去皮。内置气泡测水平装置,防滴漏工作模式,稀释速度:10秒/225mL,选配TURBO加强组件,可快至7秒分液225mL。稀释精度:>99%。5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0。良好的追溯性,可连接打印机、条码读数仪、防水键盘或USB数据输出载装置。电源:220 V – 50Hz / 120W,重量:8Kg。
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