前面板
开关:
按下灯亮,开启集成气路系统。
请确保在按下开关之前连接后面板220V AC 供电线。
人机交互界面:
采用触摸屏控制气路系统内部所有单元,包括MFC,电磁截止阀,压力传感器等。
USB接口:
功能1:允许用户导出实时记录的数据,并用于分析处理。
功能2:如插入接口的U盘中有版本软件,系统会提示用户自动升级,允许用户远程界面升级。
用户在升级程序前请与厂商技术支持联系确认所升级程序是否可用。
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右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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动态配气仪
可以根据客户需求定制,进行双路,三路,多路等复合配气;
采用不锈钢质量流量控制器、转子流量计等组件,保证系统配气精度高,质量可靠;
大屏幕液晶屏幕、中文显示,系统运行更稳定、操作更简便;
流量控制采用闭环模糊控制技术,响应速度快,流量控制准确;
零气压力和钢瓶气压力可实时监测,保证供气压力满足仪器要求;
系统中气路清洁功能可保证每次配气的***度和设备的长寿命;
无需预热时间,开机即可配气。
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质量流量计原理
配气仪原理
利用单片机控制质量流量计的流量,从而实现不同气体的配比。此种原理的配气仪比较典型的是中国计量院研发的MF-4型自动配气系统.
特点
质量流量计原理的配气仪主要特点是配气精度高(小于0.5%),但价格较贵。对于不同种类的气体,需要采用不同的配气仪。只能配置设定出厂设定浓度范围内的气体。
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