应用行业
可广泛应用于气体浓度传感器、校准、测试研究,在新材料及特种材料的研究及制备方面,多配套于CVD使用,等离子刻蚀、催化评价、脱硫脱销、气体焊接等设备中也大量配套使用,大量在环保行业中干扰实验——动态混合矩阵实验法中使用,主要是对气源CO2、SO2、N2进行动态混合配比,为试验提供一定流量范围或浓度范围的混合气体。右侧部分为气路原理用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)INLET1-设备所用背景气,一般为空气或氮气。
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静态分配方法的特点
1、除了高压缸分布方法,静态分配方法有一些优点,如设备简单、操作方便、标准物质和稀释气体的剂量小等优点。
2、而是因为一些气体化学性质活泼,长期接触容器或可能发生吸附反应,导致气体浓度不准确或改变随着时间的推移,特别是对于低浓度的气体,误差较大。
因此,静态分布规律一般只适用于使少量的化学活泼性标准气体,使大量的标准气体,特别是制定标准气体的化学活性物质,必须选择动态分配方法。
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技术优势
自动调节浓度
自动计算气体流量
压差和温差不影响质量流量测量
内部存储校准数据
高精度经过多项校准,精度实际可达百分零点几
同时混合8种气体
测量和规定范围可根据客户要求定制
通过接口与外部PC连接控制
自动程序控制
通过校准检查质量流量控制器
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