使用流量控制器害怕什么?
怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是重要的。
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流量控制器的特点
地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。流量控制器特点1、稳定的流量供给,不受温度、压力变化2、宽量程比,可达100:13、高达0。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% 量程比为-- 50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。
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流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。而今,当再有液态氨进入到质量流量计或质量流量控制器内部时,只需简单地用高压氨气冲洗管路后进行消毒即可。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
一定要按实际使用气体标定显示吗?
不一定。按实际实际使用气体标定显示,显示的是实际气体的流量, 比较直观。一、压力状况在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不低于20MPa,压力远远大于大气压。但在很多的实际应用场合,只需要找到一个合适的流量参数并保证测量和控制的重复性,至于该气体的实际质量流量是多少,用户并不是特别关心。在这种情况下,您直接使用厂家的标准出厂产品(氮气标定显示)也可以。当然,如前面所提到的,您在选定流量规格时,需要换算一下,以选择合适的量程。对于某些用户,同一个产品有时可能会通不同的气体,这种情况下,直接使用氮气标定出厂的产品更方便。
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