流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。气体流经振动管时，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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流量控制器

选择产品和订货时应当注意什么？

这一点关系到用户的切身利益，涉及的问题也比较多，因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。

(1) 注意选择正确的品牌

一般应当衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。

(2) 注意选择正确的量程

A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量（质量流量）。

B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表，将您所用气体的质量流量值换算成与氮气（标定气体）等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定，请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题，以下还有进一步解答。

C. 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程，您实际使用的流量值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的，如果实际流量较小而量程值选取过大，则测量值的相对误差较大。

注意选择正确的工作压力指标

不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。

质量流量控制器（MFC）除工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。

 注意选择合适的精度指标

准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求高，应考虑自己的实际需要。

如果对厂家给出的指标不放心，有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。

数字化质量流量控制器的发展情况如何? 有些什么特点?

数字化质量流量控制器起源于上世纪八十年代末期, 现在在国外, 有逐步普及的趋势。在国内, 2004年中法合资的七星弗洛尔公司已有AFC系列数字化MFC/MFM批量投产。

数字化质量流量控制器有两种类型, 一种是数字模拟兼容产品, 一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采用与模拟流量计一样的±15V电源, 输入输出信号除了有模拟的+5VDC信号外, 还具有RS232/RS485串行通讯口。数字模拟兼容的MFC当设置为模拟式时, 可以直接替换模拟式MFC, 无需做其它更改。若采用恒定温差法，即保持两点温差不变，则通过测量加热的功率也可以求出质量流量。全数字化类型产品通常采用24VDC单电源, 没有模拟输入输出信号, 只有现场总线通讯信号。