热式气体质量流量控制器与流量计对安装方向的要求

厚礼博生产的AC系列、DC系列以及BDD系列的热式气体质量流量控制器/流量计能满足市面上大多数用户的使用需求，具有体积小，数字化程度高，安装方便，响应速度快，测量准确等优点，能直接测量和控制介质的质量流量，无须温压补偿；设计、选型、安装、使用方便简便，适合各类单一或混合气体流量测量。

热式气体质量流量控制器MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制器，是带有控制气体质量流量的装置。热式气体质量流量计MFM为Mass Flow Meter的缩写，即质量流量计是不具有控制气体质量流量功能的装置，热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的新型仪表。可用于石油、化工、钢铁、冶金、电力、轻工、环保等工业部门的空气、烃类气体、可燃性气体、烟道气体的监测。

随着生产技术的日益发展和进步，本公司生产的热式气体质量流量控制器与流量计在安装的时候，对安装方向已无特定要求，可任意方向位置安装，如果用户订货时注明安装位置，我公司可依此标定后出厂。

AC系列、DC系列、BDD系列的气体质量流量控制器和质量流量计产品的正常工作压力范围可选：3MPa、5MPa、10Mpa，产品精度优于±1%F.S，响应速度优于2秒且流量值稳定速度也是极快的。阀体过流材质均选用品质良好的316L不锈钢。供电方式为+15V—24V的宽频供电，能满足市面上绝大多数用户的使用要求和使用习惯。DB9针的电气接头，也方便了用户在使用时的拆装。

热式气体质量流量控制器零点校准功能

零点漂移是指当放大电路输入信号为零（即没有交流电输入）时，由于受温度变化，电源电压不稳等因素的影响，使静态工作点发生变化，并被逐级放大和传输，导致电路输出端电压偏离原固定值而上下漂动的现象 它又被简称为：零漂。

热式气体质量流量控制器

热式气体质量流量控制器和热式气体质量流量计在使用的时候，会出现零点漂移的情况。零点校准的时候可用莱峰科技提供的电缆线将气体质量流量控制器与显示仪或其他二次仪表连接，充分预热15分钟后观察零点是否归零，如果不归零可以通过调节气体质量流量控制器和质量流量计的调零电位器（在MFC进气口侧面）进行调零。数字式气体质量流量控制器和质量流量计可以通过软件进行调零。

超大流量控制器

热式气体质量流量控制器和热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。有关于热式气体质量流量控制器的使用或是技术问题，可以直接与 您身边的莱峰商务联系。

有哪些通讯方式的流量控制器？

目前我公司的热式气体质量流量控制器是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。产品耐压主要分为：10Bar、50Bar和100Bar。热式气体质量流量控制器/流量计的通讯方式常分为：模拟式和数字式两种。智能仪表随着80年代初单片机技术的成熟而发展起来，当初是数据模拟信号输出简单过程量，后来仪表接口是RS232接口，这种接口可以实现点对点的通信方式，但这种方式不能实现联网功能，随后出现的RS485解决了这个问题。

国内使用广泛的是热式气体质量流量控制器即MFC，热式气体质量流量控制器的主要原理是：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。