使用流量控制器害怕什么?

怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;

怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;

怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;

怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是重要的。

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流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;  三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。

流量控制器内存在水汽有多糟

排出液体

如果您的ALICAT质量流量计、质量流量控制器内渗入了液态物质，切勿置之不理，倘若液体在气路内滞留太久，可能导致不同金属间相互反应。如果可以的话，请将设备置于真空工况下，高真空(0.25 psi或更低)加上微热(50 ~60 ° C)可使得液体从设备内部的微小气道内蒸发。

倘若液体中含有悬浮颗粒物，抽湿过程可能会留下固体颗粒，从而导致质量流量计或质量流量控制器内留有残渣。该残留物由于颗粒过重而干扰到气体作层流运动并影响测量精度的几率很小，但如果那样的话，须使用清洁设备。售后服务工程师会将设备拆卸、进行清洁后并重新标定。

如果您的质量流量控制器是316L不锈钢结构的耐腐蚀系列，那您大可高枕无忧，因为耐腐蚀系列的结构与液体流量计、液体流量控制器基本相同，可大程度地允许液体渗入。［这时您可能会问：ALICAT还有液体流量计、液体流量控制器吗？］

一些客户——诸如上文提到的水处理工厂和环境空气监测站，在难题后，弃用了普通的热式原理仪器而转投ALICAT层流压差式质量流量计、质量流量控制器，从而亲身体会到了ALICAT设备众多的优势之一。如果您恰好在进行棘手、具有挑战性的流量或压力相关项目，那么，这是一个选择ALICAT质量流量计、质量流量控制器的理由。

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